光學(xué)微電子凈化工程
時(shí)間:2019-03-05 16:03:50
凈化方案一:
組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風(fēng)口
這是一個(gè)最傳統的凈化空調系統的設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段,如混合段、初效過(guò)濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過(guò)濾段、風(fēng)機段等。其冷源由冷水機組提供。
方案特點(diǎn):
A.建議新風(fēng)經(jīng)過(guò)集中處理后再與回風(fēng)混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;
C.這類(lèi)方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬(wàn)級、十萬(wàn)級等較低的凈化無(wú)塵廠(chǎng)房。
水冷柜機+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口
與前種方案比較,這是相對比較簡(jiǎn)單的空調方案。它可以大大地縮小機房的面積,水冷柜機可以根據具體的情況布置于較小機房?jì)然騼艋?chē)間內,增壓風(fēng)柜也可以布置于機房?jì)然虻踉跈C房?jì)然蛟趭A層內。
方案特點(diǎn):
這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng),具體根據車(chē)間的大小情況而定;這類(lèi)方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬(wàn)級、十萬(wàn)級等的凈化無(wú)塵廠(chǎng)房。
分體空調柜機+FFU送風(fēng)口
這是最簡(jiǎn)易的一個(gè)空調方案。是直接將分體空調柜機布置于車(chē)間內,并用彩鋼圍護起來(lái),在柜機回風(fēng)口處再在彩鋼板上開(kāi)回風(fēng)口(帶初效過(guò)濾網(wǎng));KLC風(fēng)機過(guò)濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個(gè)方案適用于對室內溫濕度精度要求不高的無(wú)塵車(chē)間。
方案特點(diǎn):
A、無(wú)塵車(chē)間的潔凈度:LCD制屏的簡(jiǎn)略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線(xiàn)和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
B、溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對濕度為55+5%。
C、新風(fēng)量大
D、送風(fēng)量大
組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風(fēng)口
這是一個(gè)最傳統的凈化空調系統的設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段,如混合段、初效過(guò)濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過(guò)濾段、風(fēng)機段等。其冷源由冷水機組提供。
方案特點(diǎn):
A.建議新風(fēng)經(jīng)過(guò)集中處理后再與回風(fēng)混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;
C.這類(lèi)方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬(wàn)級、十萬(wàn)級等較低的凈化無(wú)塵廠(chǎng)房。
凈化方案二:
水冷柜機+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口
與前種方案比較,這是相對比較簡(jiǎn)單的空調方案。它可以大大地縮小機房的面積,水冷柜機可以根據具體的情況布置于較小機房?jì)然騼艋?chē)間內,增壓風(fēng)柜也可以布置于機房?jì)然虻踉跈C房?jì)然蛟趭A層內。
方案特點(diǎn):
這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng),具體根據車(chē)間的大小情況而定;這類(lèi)方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬(wàn)級、十萬(wàn)級等的凈化無(wú)塵廠(chǎng)房。
凈化方案三:
分體空調柜機+FFU送風(fēng)口
這是最簡(jiǎn)易的一個(gè)空調方案。是直接將分體空調柜機布置于車(chē)間內,并用彩鋼圍護起來(lái),在柜機回風(fēng)口處再在彩鋼板上開(kāi)回風(fēng)口(帶初效過(guò)濾網(wǎng));KLC風(fēng)機過(guò)濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個(gè)方案適用于對室內溫濕度精度要求不高的無(wú)塵車(chē)間。
方案特點(diǎn):
A、無(wú)塵車(chē)間的潔凈度:LCD制屏的簡(jiǎn)略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線(xiàn)和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
B、溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對濕度為55+5%。
C、新風(fēng)量大
D、送風(fēng)量大
電子無(wú)塵凈化車(chē)間潔凈等級說(shuō)明
等級 | 等級說(shuō)明及車(chē)間應用 |
1級 | 這個(gè)級別的無(wú)塵車(chē)間主要用于制造集成電路的微電子工 業(yè),對集成電路的精確要求為亞微米 |
10級 | 這個(gè)級別的無(wú)塵車(chē)間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業(yè) |
100級 | 很多人認為,這一級無(wú)塵車(chē)間是最常用因而是最重要的無(wú)塵車(chē)間,人們常常錯誤地將100級潔凈室稱(chēng)為無(wú)菌室,以說(shuō)明“無(wú)菌”的或“無(wú)塵”的環(huán)境要求,100級無(wú)塵室可用于醫藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等,這一潔凈室大量應用于,植如體內物品的制造,外科手術(shù),包括移植手術(shù),集成器的制造,那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療 |
1000級 | 這個(gè)級別的無(wú)塵車(chē)間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測試,裝配飛機蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等 |
10000級 | 萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間用于液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間在醫工業(yè)中也很常用 |
100000級 | 十萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間用于很多的工業(yè)部門(mén),比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統,液壓或氣壓系統的制造,食品飲料的生產(chǎn),醫、藥工業(yè)也常常使用這一級無(wú)塵車(chē)間 |
潔凈室(區)空氣潔凈級別表
潔凈度級別 | 塵粒最大允許數/立方米≥0.5μm塵粒數 | ≥5μm塵粒數 | 微生物最大允許數浮游菌/立方米 | 沉降菌/皿 |
100級 | 3,500 | 0 | 5 | 1 |
10,000級 | 350,000 | 2,000 | 100 | 3 |
100,000級 | 3,500,000 | 20,000 | 500 | 10 |
300,000級 | 10,500,000 | 60,000 | 1000 | 15 |
光學(xué)微電子凈化工程換氣參數
換氣次數: | 100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次 | 壓差: | 主車(chē)間對相鄰房間≥5Pa |
平均風(fēng)速: | 10級、100級0.3-0.5m/s | 溫度: | 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動(dòng)±2℃ 溫度45-65% GMP粉劑車(chē)間濕度在50%左右為宜 電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電 |
噪聲: | ≤65dB(A) | ||
新風(fēng)補充量: | 新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10%-30% | ||
照度: | 300LX |